盖世汽车讯 现在，市场对能够适应恶劣环境的微机电系统（MEMS）的需求正在增长，但硅基MEMS在极端条件下工作困难，在高温下性能也受限。碳化硅（SiC）是一种很有发展前景的解决方案，能够为打造耐用型MEMS提供绝佳的热、电和机械性能。
加速度计原理图（图片来源：phys.org）
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