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#MEMS传感器

【行业综述】汽车MEMS传感器行业综述

MEMS（ Micro-Electro-Mechanical System）是在半导体制造技术基础上发展起来，将微电路和微机械按功能要求在芯片上集成，使一个毫米或微米级别的 MEMS 系统具备精确而完整的电气、机械、光学等特性......[详细]

2016-12-06 06:00:00 原创
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